分類1：電子顕微鏡設備

^{旧名称: 高分解能結晶方位解析装置 (下記4設備を一括して)}

• 電界放出型走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
• 走査電子顕微鏡 (SEM)
• イオンミリング装置
• イオンスパッタ装置

分類2：表面分析設備

• 走査型オージェ電子分光分析装置 (AES)
  ^{(旧名称: 低ひずみ速度破断機構・極微細マッピング機能付超高性能オージェ電子分光分析装置)}
• X線光電子分光分析装置 (XPS)
  ^{(旧名称: 高性能走査型マイクロプローブX線光電子分光分析装置)}
• 飛行時間型二次イオン質量分析装置 (TOF-SIMS)
• 高周波グロー放電発光分析装置
  ^{(旧名称: 高周波グロー放電発光表面分析装置)}
• 顕微ラマン分光分析装置
  ^{(旧名称: 三波長レーザー源付き顕微ラマン分光マッピングシステム)}

分類3：表面硬度試験設備

• ナノレンジ押し込み硬さ試験機
• ダイナミック微小硬度計
• デジタルビッカース硬さ試験機
• ショア硬度計

分類4：材料信頼性評価設備

• 油圧サーボ式材料疲労試験装置
  ^{(旧名称: 疲労亀裂の発生・進展評価試験装置)}
• 小野式回転曲げ疲労試験装置
  ^{(旧名称: ギガサイクル疲労経年損傷の計測・評価システム)}
• レーザー加熱式熱衝撃疲労試験機
• 高温高圧水中応力腐食割れ試験装置

分類5：各種評価・計測設備

• 熱分析装置
• アコースティックエミッション装置
• 小型表面粗さ測定機
• 画像相関ひずみ計測システム
  ^{(旧名称: 局所ひずみ計測装置)}