主な仕様

• ダイオード放電マグネトロン形
• 圧力調整範囲： 20～7Pa
• 処理時間範囲： 5～300秒
• 使用ターゲット： Pt、Pt-Pd、Au、Au-Pd (Pt、Auは常備)
• カーボン蒸着ユニット付属
• 蒸着源： シャープペンシルの替芯を使用
• 蒸着膜厚さ： 約12nm (蒸着源からの距離が80mmの場合)

試料

• バルク、粉体、エポキシ樹脂包埋試料等
  (粉体試料の固定については要相談)
• 最大試料サイズ： 直径60mm x 高さ20mm

用途

• 非導電性試料への導電コーティング処理
• FIB加工や、イオンミリング加工試料の表面保護膜の作製