走査電子顕微鏡 (SEM)

メーカー・型番

日立ハイテク S-3400N

設置場所

NICHe本館302号室

設置年度

平成25年度

主な仕様

  • 電子銃： タングステンフィラメント電子銃
  • 加速電圧： 0.3～30kV
  • 二次電子像分解能： 3.0nm (30kV、WD=5mm、高真空モード)
  • 反射電子像分解能： 4.0nm (30kV、WD=5mm、低真空モード)
  • 5軸電動試料ステージ
  • 低真空観察による絶縁体試料の観察
  • 4分割形半導体反射電子検出器
  • 低真空用二次電子検出器
  • アクティブ磁場キャンセラー付属

観察試料

  • 最大試料サイズ： 直径200mm
  • イオンミリング装置 (IM-4000)の断面ミリング、平面ミリングホルダーをそのまま導入して観察が可能
  • エポキシ樹脂包埋サンプルの観察は可能
  • 各種金属材料、セラミックス、有機材料など（真空中で揮発しないもの、粉体試料については要相談）

用途

  • 二次電子像、反射電子像による表面形態観察
  • 低真空観察による絶縁試料の観察

これまでの利用例

  • 超弾性材料の低サイクル疲労破面の観察
  • イオンミリング加工の確認観察
  • 低真空観察による昆虫や植物の形態観察