走査型オージェ電子分光分析装置 (AES)

メーカー・型式

アルバック・ファイ PHI 680

設置場所

未来産業技術共同研究館304号室

設置年度

平成13年度(平成25年度に制御PC更新)

主な仕様

  • 電子銃： ショットキー型電子銃
    (最大加速電圧： 20keV、最小ビーム径： 約20nm)
  • マルチチャンネル検出器 (8チャンネル)
  • 円筒鏡型アナライザー (CMA)
  • Arイオン銃 (スパッタリング用)
  • 5軸電動試料ステージ
  • 分析チャンバー真空度： <10 -8 Pa
  • 測定ソフトウェア： Smart-Soft AES
  • 解析ソフトウェア： MultiPak Ver.9.5
  • エアー除振台、アクティブ磁場キャンセラー

低ひずみ速度試験機が付属

  • AESチャンバーと超高真空にて直結
  • 破断面を大気非暴露で分析が可能
  • 最大荷重: 5kN
  • 試験速度: 0.05 x 10 -4 mm/min～
  • 試験チャンバー真空度: <10 -7 Pa

分析試料

  • 原則として、直径25mm以下、高さ1cm以下の導電性試料
  • 試験片はネジ、またはマスクにて固定できること
    (原則として導電性テープは使用しない)
  • エポキシ樹脂包埋サンプルの測定は困難 (チャージアップ、真空度悪化のため)
  • 低ひずみ速度試験片については要相談

用途

  • H、He以外の元素についての定性分析、および相対感度係数による定量分析
  • スポット、ライン、マッピング分析による元素分布評価
  • Arイオンスパッタリングによる深さ方向分析

これまでの利用例

  • 溶接金属における粒界偏析の多点分析
  • Ni基耐熱合金におけるクリープ劣化過程中の微視的元素移動の評価
  • 環境助長割れき裂に形成された酸化皮膜における特異酸化挙動の評価