電子顕微鏡設備
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電界放出型走査電子顕微鏡 (FE-SEM) |
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メーカー・型番 日立ハイテク SU-70 主な仕様 EDS、EBSD、反射電子(BSE)検出器 詳細はこちら 設置場所 NICHe本館302号室 設置年度 平成25年度 ※テクニカルサポートセンター登録設備 |
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走査電子顕微鏡 (SEM) |
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メーカー・型番 日立ハイテク S-3400N 主な仕様 反射電子(BSE)検出器、低真空観察 詳細はこちら 設置場所 NICHe本館302号室 設置年度 平成25年度 |
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イオンミリング装置 |
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メーカー・型番 日立ハイテク IM-4000 主な仕様 断面&平面ミリングに対応 詳細はこちら 設置場所 NICHe本館302号室 設置年度 平成25年度 |
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イオンスパッタ装置 |
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メーカー・型番 日立ハイテク E-1045 主な仕様 Au、Pt、Pt-Pd等のコーティング カーボン蒸着ユニット 詳細はこちら 設置場所 NICHe本館302号室 設置年度 平成25年度 |
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