高周波グロー放電発光分析装置 (GD-OES)

メーカー・型式

堀場製作所 GD-Profiler2

設置場所

未来産業技術共同研究館304号室

設置年度

平成23年度


※テクニカルサポートセンター登録設備

主な仕様

  • 印加周波数： 13.56MHz
  • 高周波出力： 0～300W
  • アノード径： 標準で4mm
    (おおよその分析範囲)
  • 分析元素： H～U
  • スパッタ用ガス： 高純度Ar
  • 測定ソフトウェア： Quantum XP

分析試料

  • 適切なアノード形状やサンプル固定方法により多様な形状の試料の分析が可能
    (詳細な形状、寸法については要相談)
  • 各種金属材料 (セラミックスなどの非導電性試料については要相談)

用途

  • グロー放電スパッタリングによる深さ方向元素分析 (定性・定量)
  • バルク材料の定量組成分析
  • 電子顕微鏡観察やEBSD分析向け試料の表面仕上げ

これまでの利用例

  • 溶接材料中の炭素量、不純物元素の定量評価
  • 高温高圧水中にてステンレス鋼に生成した表面酸化皮膜の元素分布評価
  • Cuめっき中に含まれる不純物の定性分析